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      【真空:知識】真空鍍膜機怎么選配真空泵?

      發布日期:2022-09-29

      真空鍍膜設備而言,真空泵是 其獲得真空環境不能缺少的一個組成部分,生產廠家每制造一臺真空鍍膜設備均搭配一種或多種真空泵。

      真空鍍膜機如何選型選用真空泵時,需要注意下列事項:

      1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。

      如:真空鍍膜機要求1x10-5mmHg的真空度, 選用的真空泵的真空度至少要5x10-6mmHg.真空鍍膜機對于真空度的極限要求和工作壓力強度要求越來越大,對真空泵的抽真空能力要求就越高,通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數量級。

      2、正確地選擇真空泵的工作壓力。每種泵都有一定的工作壓強范圍 ,

      當泵需要的氣體壓力不高或所需的真空度不高的時候,可優先在單級泵中進行選擇,度過排氣壓力或真空度的要求比較高,單級泵往往不可以滿足要求,可以選擇使用兩級泵或者多級泵。

      真空鍍膜機

      如:擴散泵為10-3~10-7mmHg ,在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化,其穩定的工作壓強范圍為5*10-4~5x10-6mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強應小于1x10-5mmHg為好。

      3、真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。

      4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一-種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空:有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。

      5、真空鍍膜機對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:干泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。

      6、了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備,如冷凝器、除塵器等。

      7、真空泵排出來的油蒸氣對環境的影響如何。如果環境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。

      8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。

      9、真空泵的價格、運轉及維修費用也是我們考慮的重點之一。

      能為自己的真空鍍膜機選配合適生產需求的的真空泵是最機智的選擇,希望大家能通過以上的分享能幫助大家選配到合適的真空泵。


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